Semitron® MPR 1000 PAI

Semitron® MPR 1000 форм обладает превосходной теплостойкостью и низкими показателями исхода и эрозии в плазменных камерах. Этот материал с высокой чистотой с низким ионным содержанием часто выбирается для применения вакуумных камер в рамках сегментации травления, сердечно -сосудистых и ионных имплантатов в полупроводнике и электронике.

Semitron® MPR 1000 показывает увеличение срока службы по сравнению с традиционными материалами, например, до 25x по сравнению с полиимидом в озоне в некоторых случаях. Из -за его долговечности он определяется на традиционных материалах, используемых в приложениях вакуумных камер, таких как кварц, керамика, полиимиды и другие инженерные пластики.

Свойства материала

Низкое ионное содержание и низкий выход

Отличная теплостойкость

Минимизированная скорость эрозии в плазматических камерах

Оптимальная сопротивление чипа, долговечность и механизм

Спроектировано специально для требования применений камерных камер

Применение: вакуумные камеры на основе плазмы, зажимы, траншеи, винты, булавки, насадка для душа, фокусные кольца, изоляторы, вакуумные прокладки

О Семитроне ®

Продукты Semitron® Semiconductor Grade были разработаны, чтобы помочь дизайнерам и пользователям оптимизировать производительность оборудования для производства устройств. В дополнение к изготовлению устройств, многие из этих материалов идеально подходят для конкретных сред, где требуются износ, химическая устойчивость и управление статическим электричеством.

Были разработаны две группы продуктов. Во-первых, хорошо подходит для обработки устройств и тестирования приложений, а также вторая для приложений CMP CMP, плазмы и травления.

Семитронные оценки доступны в листе, стержне (некоторые составы) и обработанные детали.