Посмотрите на полупроводник Tecapeek®cmp Natural

Tecapeek CMP Natural была специально разработана для применения в поддержанном кольце CMP и является частью портфеля Ensinger для полупроводниковой промышленности. Это незаполненный пластиковый (полиэфитерэфитеркетонный) материал, основанный на полимере Victrex® Peek. При обработке для CMP удерживающих колец, специальные свойства материала Peek позволяют использовать меньшее количество внутренних канавков (также известных как боковая атака) по сравнению со стандартным пластиком Peek, который значительно уменьшается Риски дефектов пластин. Среди материалов с поддержанным кольцом CMP Tecapeek CMP предлагает лучшие характеристики истирания и трения, механические свойства, размерную стабильность и температурную стойкость, что обеспечивает самое продолжительное время жизни кольца.

Поскольку износостойкость Peek Plastic в три раза лучше, чем у PPS, а Tecapeek CMP Natural обладает на 20 % лучшей износостойкой устойчивостью, чем продукты конкурента Peek, таким образом, существует четкое преимущество с точки зрения срока службы.

Как правило, расходные материалы CMP изменяются на кратных из одного из самых коротких сроков, как правило, на прокладке. Следовательно, время замены кольца часто выровнено с подушкой «пит -стоп». Например, при определенных условиях кольцо PPS может длиться около 4 изменений в PAD, стандартное кольцо Peek может длиться до 12 изменений PAD, а кольцо CMP Tecapeek может длиться до 14 изменений PAD. Это оказывает значительное благоприятное влияние на обменный курс кольца и общую стоимость владения.

В дополнение к оптимизации свойств материала, Ensinger также разработал специальные размеры трубки, которые лучше соответствуют типичным размерам удерживающих колец CMP, что обеспечивает снижение отходов и затрат во время обработки. Например, использование размера трубки с OD 350 мм / ID 300 мм обеспечивает до 27% экономию затрат на материал по сравнению с обычным OD 360 / ID 290 мм.

Как и во всех полупроводниковых оценках Ensinger, натуральные трубки Tecapeek CMP обрабатываются в соответствии с полупроводниковыми копиями именно требований (также известных как Copy Exact или CE) и более строгих контролей качества по сравнению с промышленными оценками. Дополнительные контроли качества и меры обеспечивают снижение рисков примесей и улучшение внутреннего напряжения и размерной стабильности по сравнению со стандартным промышленным пластиком. Мы можем подтвердить, что Tecapeek CMP Natural соответствует ограничениям, налагаемым ROHS Directive 2011/65/EU ограничение опасных веществ в электрическом оборудовании, а также может предоставить дополнительные заявления соответствия по запросу.

Для удерживающих колец CMP, которые требуют более низкой стоимости материала и где можно использовать более низкое время жизни, Ensinger предлагает версию PPS - Tecatron CMP Natural, также со специальным профилем недвижимости, выровненным с CMP, поддерживающими кольцами. Для других полупроводниковых приложений, которые не требуют этого специального профиля свойства, Ensinger предлагает более экономичную версию полупроводникового уровня в виде пластины, стержня и труб-Tecapeek SX Natural.

Факты

Химическое обозначение

Peek (Polyetheretherketone)

Цвет

бежевый

Плотность

1,31 г/см3

Основные особенности

Хорошая температура отклонения тепла

Хорошая механизм

присущий пламену

гидролиз и перегретый пара устойчивы

Высокая прочность

Сопротивление против высокого энергетического излучения

Хорошие свойства слайда и износа

Высокая сопротивление ползучести

Целевые отрасли

Полупроводниковая технология

Tecapeek®cmp естественные технические данные о технических данных